111–115 ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА УДК 53.087.62 ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ ХОЛЛА И МЕТОДОМ ВАН ДЕР ПАУ В РЕЖИМЕ МЕДЛЕННОГО ДРЕЙФА ТЕМПЕРАТУРЫ © 2017 г. Д. С. Гец, Д. С. Полоскин* Физико-технический институт им. <...> Политехническая, 26 *e-mail: dmitrii.poloskin@mail.ioffe.ru Поступила в редакцию 22.12.2015 г. После доработки 04.04.2016 г. Описан способ измерения эффекта Холла в режиме медленного дрейфа температуры. <...> Предлагаемая методика позволяет измерять электрические характеристики полупроводниковых материалов в широком диапазоне температур без необходимости стабилизации температуры образца. <...> Это дает возможность за время проведения эксперимента значительно увеличить число измеряемых точек по сравнению с традиционными методами, что повышает точность экспериментальных данных. <...> Результаты расчета с помощью уравнения электронейтральности по экспериментальным данным, полученным по данной методике, хорошо согласуются с данными других авторов. <...> DOI: 10.7868/S0032816217010190 Измерение электрических параметров полупроводниковых кристаллов и структур с помощью эффекта Холла уже достаточно давно используется как один из самых простых и распространенных способов исследования материалов и контроля их качества. <...> Эффект Холла позволяет определить два важных электрических параметра полупроводника – концентрацию и подвижность носителей заряда. <...> Измерение эффекта Холла может быть проведено как оригинальным способом, предложенным Э. <...> В первом случае образец должен быть выполнен в форме прямоугольника или холловского мостика. <...> Во втором случае образец может иметь произвольную плоскопараллельную форму с четырьмя точечными омическими контактами, расположенными по периметру образца. <...> Для измерения по методу Ван дер Пау достаточно иметь однородные по толщине образцы и знать только их толщины. <...> Большой интерес представляет определение наличия примесных уровней в запрещенной зоне полупроводника <...>