УДК 681.7:004.9 КРУГОВАЯ ЛАЗЕРНАЯ ЗАПИСЫВАЮЩАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ФАЗОВЫХ И АМПЛИТУДНЫХ МИКРОСТРУКТУР НА СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЯХ1 CIRCULAR LASER WRITING SYSTEM FOR FABRICATION OF PHASE AND AMPLITUDE MICROSTRUCTURES ON SPHERICAL SURFACES 1) Верхогляд Александр Григорьевич зав. лабораторией Е-mail: verhog@tdisie.nsc.ru 1) Завьялова Марина Андреевна мл. научн. сотрудник Е-mail: mzav@tdisie.nsc.ru 2) Качкин Антон Евгеньевич научн. сотрудник Е-mail: anton.kachkin@yandex.ru 1) Кокарев Сергей Александрович мл. научн. сотрудник Е-mail: kokarev@tdisie.nsc.ru 2) Корольков Виктор Павлович д-р техн. наук, ст. научн. сотрудник Е-mail: victork@iae.nsk.ru 1) Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, г. Новосибирск 2) Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск 1) Verhoglyad Aleksander G. <...> Head of Laboratory Е-mail: verhog@tdisie.nsc.ru 1) Zavyalova Marina A. Associate Scientist Е-mail: mzav@tdisie.nsc.ru 2) Kachkin Anton Ye. <...> Researcher Е-mail: anton.kachkin@yandex.ru 1) Kokarev Sergey A. Associate Scientist Е-mail: kokarev@tdisie.nsc.ru 2) Korolkov Viktor P. <...> Датчики и Системы · ¹ 9-10.2015 45 Аннотация: Работа посвящена принципам построения и результатам разработки круговой лазерной записывающей системы нового поколения, предназначенной для записи дифракционных оптических элементов (ДОЭ) на сферических поверхностях с ошибкой волнового фронта менее λ/100. <...> Использование двух лазеров позволяет реализовать на данной системе запись многоуровневого микрорельефа фазовых ДОЭ на пленках фоторезиста и амплитудных фотошаблонов на тонких пленках хрома. <...> В работе рассмотрен также датчик автофокусировки, позволяющий поддерживать фокус при наклоне поверхности до 8° с погрешностью ±0,1 мкм. <...> Ключевые слова: круговая лазерная записывающая система, датчик автоматической фокусировки, фоторезист, дифракционный оптический элемент. <...> ВВЕДЕНИЕ Конструкторско-технологический институт научного приборостроения и Институт Автоматики и Электрометрии СО РАН с середины 1990-х годов ведут совместные работы по проектированию и изготовлению круговых лазерных записывающих систем (КЛЗС) по заказам ведущих отечественных <...>