Кафедре микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ — 50 лет УДК 681.586’33.776.442 ИЗГОТОВЛЕНИЕ МЭМС-СТРУКТУР ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗА С ПРИМЕНЕНИЕМ ОРГАНИЧЕСКИХ ЩЕЛОЧЕЙ1 ORGANIC ALKALIS APPLICATION FOR MANUFACTURING OF MEMS-STRUCTURES GAS SENSORS 1) Веселов Денис Сергеевич канд. тех. наук, инженер E-mail: deonis86@inbox.ru 1) Воронов Юрий Александрович канд. техн. наук, доцент E-mail: yavoronov@mephi.ru 2) Ванюхин Кирилл Дмитриевич инженер E-mail: kirivan@list.ru 1) Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, Москва кафедра микро- и наноэлектроники 2) ООО “Планар-МИФИ”, Москва Аннотация: Приведены результаты исследования способов приготовления и процессов анизотропного травления кремния в растворах органических щелочей при формировании чувствительных элементов газовых датчиков методом МЭМС. <...> Получены значения скоростей травления кремния, уровня локальной неравномерности и равномерности поверхности травления по всей площади образцов, стойкости к травлению термического окисла кремния и мембранных пленок. <...> Полученные растворы исследованы на пригодность к проведению глубокого анизотропного травления кремния. <...> MEMS-technology allow to provide the due level thermal protection of sensitive layers by forming heated areas on dielectric membrane films made on silicon substrates by a method of anisotropic etching. <...> Research processes anisotropic etching of silicon and solutions preparation of organic alkalis is carried out. <...> Speeds of silicon etching, level of local etching non-uniformity and etching uniformity on all area of samples, firmness to etching of thermal silicon dioxide and membrane films are received. <...> The received solutions are investigated on suitability to carrying out of deep anisotropic silicon etching. <...> Ключевые слова: диаминоэтан, пирокатехин, водный раствор, окисленный раствор, барботирование кислородом, анизотропное травление, неравномерность травления. <...> ВВЕДЕНИЕ Для анализа состава газообразных сред широко применяются датчики, в которых измерение концен1 В статье использованы результаты НИОКР по контрактам с “Фондом содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере” № 8994р/14043 от 19.04.2011 <...>