Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 635213)
Контекстум
Руконтекст антиплагиат система
Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия  / №4 2010

Экспериментальное изучение закономерностей энерговыделения в гибридном высокочастотном разряде низкого давления при изменении мощности высокочастотного генератора и давления аргона (60,00 руб.)

0   0
Первый авторАлександров
АвторыВавилин К.В., Кралькинаа Е.А., Павлов В.Б., Рухадзе А.А., Савинов В.П., Якунин В.Г.
Страниц5
ID572374
АннотацияЭкспериментально изучаются закономерности энерговыделения в плазме новой модификации высокочастотного (ВЧ) разряда — гибридного ВЧ разряда, поддерживаемого как вихревым, так и потенциальным ВЧ электрическими полями. Для организации такого разряда в работе используется узел ввода ВЧ мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. В настоящей работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, и давления аргона на эквивалентное сопротивление гибридного разряда, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ мощность. Рассмотрена роль емкостного канала в балансе ВЧ мощности, поступающей в разряд
УДК537.52.
Экспериментальное изучение закономерностей энерговыделения в гибридном высокочастотном разряде низкого давления при изменении мощности высокочастотного генератора и давления аргона / А.Ф. Александров [и др.] // Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия .— 2010 .— №4 .— С. 75-79 .— URL: https://rucont.ru/efd/572374 (дата обращения: 10.05.2024)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Экспериментально изучаются закономерности энерговыделения в плазме новой модификации высокочастотного (ВЧ) разрядагибридного ВЧ разряда, поддерживаемого как вихревым, так и потенциальным ВЧ электрическими полями. <...> Для организации такого разряда в работе используется узел ввода ВЧ мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. <...> В настоящей работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, и давления аргона на эквивалентное сопротивление гибридного разряда, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ мощность. <...> Рассмотрена роль емкостного канала в балансе ВЧ мощности, поступающей в разряд! <...>