Экспериментально изучаются закономерности энерговыделения в плазме новой модификации высокочастотного (ВЧ) разряда — гибридного ВЧ разряда, поддерживаемого как вихревым, так и потенциальным ВЧ электрическими полями. <...> Для организации такого разряда в работе используется узел ввода ВЧ мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. <...> В настоящей работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, и давления аргона на эквивалентное сопротивление гибридного разряда, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ мощность. <...> Рассмотрена роль емкостного канала в балансе ВЧ мощности, поступающей в разряд! <...>