АВТОМАТИЗАЦИЯ ИНЖЕНЕРНОГО ТРУДА УДК 519.2:541.1 Г.А. Тарнавский, д-р физ.-мат. наук (Институт вычислительной математики и математической геофизики СО РАН, Новосибирск, e-mail: Gennady.Tarnavsky@gmail.com) ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЫ СО СЛОЖНЫМ НАНОРЕЛЬЕФОМ ПОВЕРХНОСТИ (ВОЗМОЖНОСТИ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНОГО ЭКСПЕРИМЕНТА) Рассмотрены возможности компьютерного моделирования легирования кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности. <...> Приведены результаты вычислений ионной имплантации примесей (фосфора, бора, мышьяка) в наноколонны кремния. <...> Целью настоящей статьи является ознакомление широких кругов специалистов смежных областей, а также аспирантов и студентов технических вузов с возможностями математического моделирования нанотехнологических процессов и компьютерной поддержки проектирования наноматериалов с заданными электрофизическими свойствами. <...> Реализация этой информационной цели проводится на примере компьютерного моделирования важной технологии наноэлектроники – легирования кремниевой подложки и создания в ней специальных гетероструктур (подробнее см. <...> Наибольший акцент делается именно на результаты компьютерных исследований с вариацией различных физических параметров, определяющих протекание и финал нанотехнологического процесса. <...> Легирование: общие характеристики Компьютерное моделирование наноматериалов, наноустройств и нанотехнологий является новой и быстро развивающейся научной областью. <...> В совокупности эту область можно назвать «Виртуальное проектирование наносистем». <...> «Легирование кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности » Использование компьютерного моделирования в нанотехнологиях является критически необходимым, поскольку экспериментальные исследования в этой области крайне дорогостоящи и требуют, как правило, длительного времени. <...> Легирование (допинг) – процесс внедрения в кремниевую пластину примесей донорного и/или акцепторного типа <...>