E-mail: uhr@inbox.ru Аннотация: Задача: Тонкие пленки некоторых материалов, диэлектрические свойства которых могут изменяться при оптическом, электрическом или термическом воздействии, могут использоваться для управления технологически важными терагерцовым и микроволновым диапазонами электромагнитных волн [1]. <...> Тонкие пленки VO2 выдерживают значительно большее число циклов переключений, чем монокристаллические образцы [3]. <...> Целью настоящей работы было получение методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) в бескапельном режиме на монокристаллических подложках сапфира и кремния пленок VO2 с электрическими и оптическими свойствами, пригодными для генерации терагерцового излучения. <...> Пленки, полученные методом ИЛО, кристаллизуются при более низких температурах подложки по сравнению с другими физическими методами парового осаждения благодаря высоким кинетическим энергиям (> 1 эВ) ионизированных инжектированных частиц в создаваемой лазерной плазме. <...> Кроме того, метод ИЛО может работать при довольно высоком давлении буферного газа в напылительной камере, поэтому он эффективно используется при напылении тонких пленок оксидов. <...> Результаты: Получены тонкие пленки VO2 методом ИЛО в бескапельном режиме при различных условиях осаждения. <...> Исследовано влияние плотности энергии на мишени и давления кислорода в камере на оптические и электрические свойства пленок. <...> Изучены характерные особенности изменения электрических и оптических свойств пленок в окрестности фазового перехода в температурном интервале от 20оС до 100оС. <...> Из измерений электрических свойств пленок установлено, что значения температуры перехода (Tс) для пленок на подложках сапфира (0001) и кремния (111) равны соответственно 67.5оС и 67оС, а ширины гистерезиса оказались соответственно равны 3оС и 2оС. <...> Из измерений оптических свойств пленок установлено, что коэффициент пропускания пленок на длинах волн от 200 нм до 800 нм демонстрирует скачок пропускания <...>