УДК 621.38-022.532 Исследование режимов ионно-стимулированного осаждения наноразмерных структур платины методом фокусированных ионных пучков С.А. Лисицын, А.С. Коломийцев, О.И. Ильин, М.В. Ильина, Б.Г. Коноплев, Ал. <...> , О.А. Агеев Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета (г. Таганрог) Research of Modes of Ion Beam Included Deposition of Platinum Nanostructures Using the Method of Focused Ion Beams S.A. <...> Ageev Southern Federal University, Institute of Nanotechnologies, Electronics and Electronic Equipment Engineering Представлены результаты экспериментальных исследований режимов ионно-стимулированного осаждения структур Pt толщиной от (0,48 ± 0,1) до (24,38 ± 0,1) нм методом фокусированных ионных пучков. <...> Экспериментально определена скорость ионно-стимулированного осаждения Pt, которая в зависимости от режимов изменяется от (0,28 ± 0,02) до (6,7 ± 0,5) нм/с. <...> Отклонение латеральных размеров структур Pt от заданных шаблоном уменьшается от (29,3 ± 0,07) % до (2,4 ± 0,2) % в зависимости от времени осаждения. <...> При толщинах наноразмерных структур Pt более 3 нм их удельное сопротивление составляет (23,4 ± 1,8) Ом∙см и слабо зависит от толщины. <...> Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов формирования структур микроэлектронной сенсорики, наноэлектроники, нано- и микросистемной техники. <...> The results of experimental studies of modes of ion beam included deposition of Pt with thickness from (0.48 ± 0.1) to (17.38 ± 0.1) nm by focused ion beams have been represented. <...> The experimentally determined rate of ioninduced deposition of Pt, which, depending on process parameters of the focused ion beam is changed from (0.28 ± 0.02) to (6.7 ± 0.5) nm/s. <...> It has been found that the deviation of the lateral dimensions of Pt nanostructures from the designed pattern decreases <...>