N 9 Для цитирования: Поплавский А.И., Колпаков А.Я., Галкина М.Е., Гончаров И.Ю., Любушкин Р.А., Герус Ж.В. <...> Свойства легированных азотом аморфных углеродных покрытий, получаемых импульсным вакуумно-дуговым методом. <...> For citation: Poplavskiy A.I., Kolpakov A.Ya., Galkina M.E., Goncharov I.Yu., Lyubushkin R.A., Gerus Zh.V. <...> Properties of nitrogendoped amorphous carbon coatings obtained by impulse vacuum-arc method. <...> УДК 538.975 А.И. Поплавский, А.Я. Колпаков, М.Е. Галкина, И.Ю. Гончаров, Р.А. Любушкин, Ж.В. Герус Александр Иосифович Поплавский ( ), Александр Яковлевич Колпаков, Марина Евгеньевна Галкина НИЛ «Проблем разработки и внедрения ионно-плазменных технологий», Белгородский государственный национальный исследовательский университет, ул. <...> Королева, 2а, корпус 4, Белгород, Российская Федерация, 308033 E-mail: poplavsky@bsu.edu.ru ( ), kolpakov@bsu.edu.ru, galkina@bsu.edu.ru Игорь Юрьевич Гончаров, Роман Александрович Любушкин ЦКП научным оборудованием «Диагностика структуры и свойств наноматериалов», Белгородский государственный национальный исследовательский университет, ул. <...> Королева, 2а, корпус 4, Белгород, Российская Федерация, 308033 E-mail: goncharov@bsu.edu.ru, lyubushkin@bsu.edu.ru Жанна Владимировна Герус Институт инженерных технологий и естественных наук, Белгородский государственный национальный исследовательский университет, ул. <...> Победы, 85, Российская Федерация, 308015 E-mail: zhanna.gerus@mail.ru СВОЙСТВА ЛЕГИРОВАННЫХ АЗОТОМ АМОРФНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ ИМПУЛЬСНЫМ ВАКУУМНО-ДУГОВЫМ МЕТОДОМ В работе представлены результаты исследования структуры и свойств легированных азотом аморфных углеродных покрытий, полученных в вакууме из потока импульсной углеродной плазмы. <...> Установлено, что легирование азотом углеродного покрытия приводит к увеличению электропроводности, снижению внутренних напряжений, уменьшению плотности, твердости и модуля упругости, к изменению структуры, морфологии поверхности и трибологических характеристик. <...> Kolpakov, Marina E. Galkina Labs of Problems of Development of Ion-plasma Technologies and Implementation, Belgorod State University, Koroleva str., 2A, Belgorod, 308034, Russia E-mail: poplavsky@bsu.edu.ru <...>