Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF4, Cl2 и HBr + Ar. <...> For citation: Efremov A.M., Kwon K.-H., Shabadarova D.A. Comparative study of plasma parameters and compositions in CF4, Cl2 and HBr + Ar gas mixtures. <...> Шабадарова Александр Михайлович Ефремов ( ), Дария Александровна Шабадарова Кафедра технологии приборов и материалов электронной техники, Ивановский государственный химико-технологический университет, Шереметевский пр., 7, Иваново, 153000, Российская Федерация E-mail: efremov@isuct.ru ( ) K.-H. Kwon Лаборатория применения плазмы, Департамент разработки средств и методов контроля, Университет Корея, 208 Сеочанг-Донг, Чочивон, 339-800, Республика Корея СРАВНИТЕЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ И СОСТАВА ПЛАЗМЫ В СМЕСЯХ CF4, Cl2 И HBr + Ar В данной работе обсуждаются электрофизические параметры и химия плазмы в системах CF4 + Ar, Cl2 + Ar и HBr + Ar при одинаковых условиях возбуждения разряда. <...> Исследования проводились методами диагностики плазмы зондами Лангмюра и моделирования плазмы в условиях планарного индукционного плазмохимического реактора при постоянном давлении газа (10 мТор), вкладываемой мощности (800 Вт) и мощности смещения (300 Вт), но при варьируемой (0-80%) доле Ar в плазмообразующей смеси. <...> Основное внимание уделялось параметрам, определяющим стационарные концентрации активных частиц плазмы (температура электронов, концентрация электронов, константы скоростей реакций под действием электронного удара) и кинетику гетерогенных ионно-стимулированных химических реакций (потоки атомов галогенов, энергия ионной бомбардировки, поток энергии ионов). <...> Ключевые слова: CF4, Cl2, HBr, плазма, константа скорости, скорость реакции, поток атомов галогенов, поток энергии ионов Изв. вузов. <...> N 10 UDC: 537.525 A.M. Efremov, K.-H. Kwon, D.A. Shabadarova Alexander M. Efremov ( ), Dariya A. Shabadarova Department of Electronic Devices and Materials Technology, Ivanovo State University of Chemistry and Technology, Sheremetevskiy ave., 7, Ivanovo, 153000, Russia E-mail: efremov@isuct.ru ( ) Kwang H. Kwon Plasma Application Lab <...>