М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru С.Х.Карпенков, д-р техн. наук, лауреат Государственной премии и премии Правительства Российской Федерации в области науки и техники, заслуженный деятель науки Российской Федерации, лауреат премии Правительства Российской Федерации в области образования КОБАЛЬТ-СЕРЕБРЯНЫЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ Рассматриваются тонкопленочные материалы, содержащие кобальт и серебро и обладающие относительно большим магнетосопротивлением при невысоких температурах. <...> В последнее время разрабатываются элементы для магнитных накопителей информации с поверхностной плотностью более 15 Мбит/мм2 . <...> При достижении такой чрезвычайно высокой информационной плотности важную роль играют тонкопленочные магниторезистивные материалы для изготовления высокочувствительных воспроизводящих элементов [13]. <...> Как показывает эксперимент, в однослойных магниторезистивных пленках кобальт-серебро при содержании кобальта около 38% относительное магнетосопротивление ∆ρ/ρ даже при комнатной температуре достаточно велико: оно составляет не менее 22%. <...> Тонкопленочные образцы CoAg с разным содержанием кобальта выращивались на подложках из гранулированного стекла при магнетронном осаждении и температуре окружающей среды в атмосфере аргона при рабочем давлении около 1,5Па. <...> Пленки подвергались дважды термообработке при температуре 300 °С в вакууме около 1,5⋅10-4 Па в течение 30мин. соответствующий плоскости (100), с возрастанием процентного содержания кобальта уменьшается почти по линейному закону. <...> После первой и второй термообработки тонкопленочных образцов CoAg параметр решетки d0 38 Результаты рентгеноструктурных наблюдений напыленных пленок CoAg свидетельствуют о наличии сравнительно большого максимума, характерного для плоскости (111) кристаллической решетки серебра, и двух заметно меньших максимумов, один из которых соответствует плоскости (200), а другой (222); при этом оба максимума относятся к одной <...>