М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru УДК 621.382 Попов В.В., канд. техн. наук, президент ОАО «Светлана» НОВЫЕ ПОДХОДЫ К РАЗРАБОТКЕ МОДУЛЕЙ СВЧ В ИНТЕГРАЛЬНЫХ ИСПОЛНЕНИЯХ Анализ современного уровня развития интегральных схем СВЧ и обобщение результатов, провед¸нных в этой области исследований, показал устойчивую тенденцию к ужесточению требований, предъявляемых к параметрам назначения модулей СВЧ в интегральном исполнении в процессе эксплуатации. <...> Показана перспективность применения такого подхода в процессе создания и эксплуатации модулей ИС СВЧ. <...> Наряду с традиционными применениями, связанными с РЛС военного и гражданского назначения, ракетами с активными головками самонаведения, аналоговыми системами связи, появились цифровые системы связи, локальные (LDMS) и распределенные системы связи, аппаратура с кодовым разделением каналов (CDMA), мобильные телефоны, разнообразные локационные датчики для транспортных средств и многое другое. <...> Как известно, высокоэффективные радиолокационные системы должны обладать комплексом высоких тактико-технических характеристик. <...> В связи с дальнейшим развитием РЭС разработчиками предъявлены ж¸сткие требования к модулям и поставлен комплекс задач по радикальному улучшению параметров и характеристик ГИС и МИС различных классов и областей применения: повышению уровня удельной мощности, КПД, стабильности работы при повышенной температуре, радиационной стойкости, над¸жности, функциональности и др. <...> Это предопределило переход от традиционных для СВЧ ЭКБ материалов (Si, GaAs) к новым широкозонным материалам: гетероструктурам AlGaN/GaN; InAlAs/InGaAs/InP, гибридным гетеростуктурам типа JET/HBT на подложках GaAs, эпиструктурам SiC на подложках SiC и др.; оптимизацию конструктивных исполнений мощных транзисторов, ЛПД и других активных элементов на основе указанных новых материалов; разработку соответствующих базовых промышленных технологий, обеспечивающих высокую воспроизводимость параметров <...>