К.Э. Циоковского ВАКУУМНО ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ: ПОЛУЧЕНИЕ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПОКРЫТИЙ ТРИБОТЕХНИЧЕСКОГО И ИНСТРУМЕНТАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ Рассмотрены актуальные вопросы применения вакуумно плазменных технологий для осаждения наноструктурных покрытий с размерами з¸рен менее 100нм; приведены сведения о способах управления структурой и свойствами покрытий, а также результаты использования таких покрытий в инструментальном производстве. <...> Ключевые слова: наноструктурные покрытия, инструментальное производство, вакуум, плазменные источники энергии, технологические методы. <...> Используемые в инструментальном производстве быстрорежущие стали характеризуются высокими прочностными свойствами, но имеют сравнительно невысокую тв¸рдость и теплостойкость, в отличие от режущей керамики, у которой высокие тв¸рдость и теплостойкость, но низкие прочностные свойства. <...> В зависимости от решаемых задач поверхностный слой, сформированный каким либо из методов поверхностной обработки, может выполнять функции [1]: 1) высокотв¸рдого поверхностного слоя, препятствующего абразивному изнашиванию рабочих поверхностей изделия в процессе эксплуатации; 2) промежуточной среды, обладающей низким сродством с контактируемым материалом и препятствующей интенсивному схватыванию в условиях адгезионного изнашивания; 3) антифрикционной тв¸рдой смазки, минимизирующей налипание контактируемого материала на изделие в процессе эксплуатации; 27 М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru 4) барьерного слоя, препятствующего отпуску поверхностного слоя изделия в результате воздействия повышенных теплосиловых нагрузок; Барьерного слоя, способного тормозить или останавливать распространение сетки усталостных трещин, приводящей к макровыкрашиванию рабочих поверхностей. <...> Широко применяемые в инструментальном производстве покрытия типа TiN, TiAlN, TiCrN и др. характеризуются высокими значениями микротв¸рдости <...>