МАТЕРИАЛЫ М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru Карпенков С.Х., д-р техн. наук, лауреат Государственной премии и премии Правительства РФ в области науки и техники, заслуженный деятель науки Российской Федерации, лауреат премии Правительства Российской Федерации в области образования ЖЕЛЕЗО- И КОБАЛЬТСОДЕРЖАЩИЕ МАТЕРИАЛЫ Рассматриваются магниторезистивные характеристики тонкопленочных материалов различных составов. <...> Исследования магниторезистивных и структурных свойств гранулированных тонкопленочных материалах сплавов железа и кобальта с разными металлами показали, что в большинстве сплавов, за исключением сплава железо-платина, наблюдалось гигантское магнетосопротивление [13]. <...> Тонкопленочные образцы напылялись в камере с исходным вакуумом не более 1,33⋅10-5 Па, а давление рабочего газа (аргона) при напылении около 0,5Па. <...> Пленки осаждались на кремниевые подложки при температуре 77К, а все остальные образцы напылялись также на кремниевые подложки, но при температуре окружающей среды. <...> Толщина напыленных образцов составляла от 200нм до 1мкм. <...> Тонкопленочные образцы подвергались термообработке в вакууме 1,33⋅10-5 Па в те= 200 °С, равный примерно 2 нм, увеличивается до 13нм при Та = 605°С. чение 10 15мин при разных температурах отжига. <...> Для определения структуры и фазовых свойств исследуемых образцов использовалась рентгеновская дифракционная установка и электронный микроскоп. <...> Ионно-плазменное напыление способствует образованию метастабильного или даже аморфного состояния тонкопленочных образцов, структура которых сразу после напыления сравнительно однородна, и, если проявляется фазовое разделение, то осаждаемые частицы довольно малы их размеры составляют 12нм. <...> Термообработка стимулирует фазовое разделение, а размер кристаллических зерен постепенно увеличивается с повышением температуры и длительности отжига. <...> Например, в образцах CoAg с содержанием кобальта 20% (ат.) размер кобальтовых частиц при температуре <...>