М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru УДК 621.382 Вьюгинов В.Н., канд. техн. наук, заместитель начальника ОКБ ЭП ОАО «Светлана», Гудков А.Г., д-р техн. наук, профессор МГТУ им. <...> А, начальник отдела ОАО «Светлана», Попов В.В., канд. техн. наук, генеральный директор ОАО «Светлана», Савин А.М., начальник лаборатории ОАО «Светлана» ПРОГНОЗИРОВАНИЕ КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ ГИС И МИС СВЧ НА ЭТАПАХ РАЗРАБОТКИ И ПРОИЗВОДСТВА Часть 19. <...> Элементы МИС СВЧ Рассмотрены основные элементы монолитных интегральных схем СВЧ (МИС СВЧ). <...> Реальная возможность создания монолитных интегральных схем (МИС) СВЧ появилась лишь с разработкой планарных ПТШ и развитием технологии их изготовления на основе соединений типа А3 вая такая МИС однокаскадный СВЧ усилитель была создана в 1975 году в Великобритании [2]. <...> МИС СВЧ изучается, как и гибридные интегральные схемы (ГИС) СВЧ на основе ограниченного массива базовых элементов, поэтому в нашей работе рассмотрим некоторые из них. <...> ПТШ в качестве ключевого элемента Продольный разрез ПТШ в составе МИС представлен на рис. <...> Продольный разрез ПТШ Для расчета фазовращателя в настоящей работе используется упрощенная модель такого ПТШ в виде двух эквивалентных линейных четырехполюсников, параметры которых соответствуют закрытому (а) и открытому (б) ключу (рис. <...> Электрические параметры использованной модели измерены на тестовом ПТШ с длиной затвора 0,8 мкм и шириной затвора 300 мкм. <...> В дальнейших расчетах эти параметры пронормированы на ширину затвора 1 мм. <...> 2 К2 коэффициент нормировки, являющийся отношением ширины затвора конкретного ПТШ к 1 мм. <...> ПТШ находится в закрытом состоянии, когда на его затвор подано управляющее напряжение порядка 5 В, отрицательное относительно истока. <...> При этом носители заряда вытесняются из канала транCAP ID=C1 C=0.12*K2 pF конструктивные емкости, соответ= 0,12К2 , С4 = 0,07К2 и С5 АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru зистора, происходит перекрытие канала, и его проводимость становится минимальной. <...> При подаче на затвор <...>