Баумана, г. Москва 2ОАО «Светлана», г. Санкт-Петербург ПРОГНОЗИРОВАНИЕ КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ ГИС И МИС СВЧ НА ЭТАПАХ РАЗРАБОТКИ И ПРОИЗВОДСТВА Часть 18. <...> Гетероструктурная СВЧ-электроника России: день сегодняшний Дается обзор состояния гетероструктурной СВЧ-электроники в России. <...> На основании анализа литературных данных приводятся параметры некоторых приборов и устройств СВЧ-электроники, освоенных российскими предприятиями. <...> Отмечается актуальность работ по комплексной технологической оптимизации МИС СВЧ. <...> Heterostructural SHF-electronics in Russia: the present day 1 Moscow State Technical University named after N.E. <...> Bauman 2 Svetlana JSC, St.- Petersburg The review of heterostructural SHF-electronics in Russia in the present time is presented. <...> В 60-70-е годы ХХ века огромный шаг СВЧ электроники России вперед был связан с появлением и промышленным освоением гибридных интегральных схем СВЧ (ГИС СВЧ). <...> Пленочные элементы располагаются на общей подложке, навесные активные и пассивные компоненты присоединяются пайкой, сваркой, реже приклеиванием. <...> Важным достоинством гибридной технологии, влияющим на стоимость готовых изделий, является возможность подстройки параметров пленочных и навесных элементов. <...> 7 По мере освоения новых полупроводниковых материалов, в первую очередь GaAs, в 80-х годах появились монолитные интегральные схемы СВЧ, благодаря которым удалось освоить еще более высокие частоты и одновременно снизить массу и габариты аппаратуры. <...> Монолитная технология помещает полупроводниковые элементы (диоды, транзисторы) внутрь полупроводниковой подложки, или в тонкие приповерхностные эпитаксиальные полупроводниковые слои, пленочные элементы, как в ГИС, располагаются на поверхности подложки. <...> Элементная база современных МИС строится на основе многослойных полупроводниковых гетероструктур, которые позволяют в полной мере использовать возможности полупроводниковых материалов. <...> Импульс развитию направления МИС СВЧ был дан оборон31 ; ; М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru ными программами <...>