68 – 70 УДК 537.226 А.М. ХОВИВ, О.Б. ЯЦЕНКО, В.А. ЛОГАЧЕВА, Ю.Ю. ЯКИМОВА, Э.А. ДОЛГОПОЛОВА ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СВИНЦА НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ И СТРУКТУРЕ SiO2 /Si © 2001 г. А.М. Ховив, О.Б. Яценко, В.А. Логачева, Ю.Ю. Якимова, Э.А. Долгополова Воронежский государственный университет Методами рентгенофазового анализа и растровой электронной микроскопии проведено исследование влияния подложки на формирование тонких пленок титаната свинца. <...> Способ синтеза заключался в отжиге в атмосфере кислорода последовательно напыленных магнетронным способом металлических слоев свинца и титана. <...> Пленки титаната свинца синтезировали на двух типах подложек: монокристаллическом Si (100) и структуре SiO2 /Si при толщине оксида 300 нм. <...> Показано, что формирование пленки титаната свинца тетрагональной структуры на подложках монокристаллического кремния происходит при Т=973 К. <...> Оксидирования при той же температуре тонкопленочной гетероструктуры Pb/Ti на подложке SiO2 приводит к образованию пирохлорной фазы PbTi2 /Si гональной структуры на оксиде кремния происходит при Т=1173 К. <...> Поэтому на первый план выдвигается изучение фазовых превращений, происходящих при термообработке, и исследование влияния подложки на стехиометрический состав, кристаллическую структуру и поверхностную морфологию этих пленок. <...> Известно, что нелинейные электрические (сегнетопиально новой функциональной электроники относятся тонкие пленки PbTiO3 электрические свойства) проявляют пленки титана свинца, кристаллизующиеся в структуре перовскита [5,6]. <...> При физических методах осаждения перовскитные пленки титаната свинца можно получить только на подложках с кристаллографическими параметрами близкими к PbTiO3 (100) [8], или на подложках, мало отличающихся коэффициентами термического расширения, например, с платиновым покрытием: Pt/SiO2 /Si [9]. <...> При химических методах осаждения металлорганических соединений для предотвращения диффузии свинца, приводящей <...>