УДК 621.797 МЕТаллооКСИдНыЕ НаНоКоМпоЗИТы для ГаЗовой СЕНСорИКИ Е. С. рембеза Воронежский государственный университет Тонкопленочные нанокомпозиты на основе диоксида олова получены методом реактивного ионно-лучевого распыления составной металлической мишени. проведены исследования элементного состава, а также морфологии поверхности исследуемых образцов. проведен анализ влияния количества примеси на изменение среднего размера зерна поликристаллов в пленке. <...> Измерена газовая чувствительность пленок нанокомпозитов на основе диоксида олова к различным газам-восстановителям. <...> Установлено уменьшение температуры максимальной газовой чувствительности нанокомпозитов по сравнению с нелегированными пленками диоксида олова. ввЕдЕНИЕ поиск новых материалов для твердотельной газовой сенсорики стимулирует активное изучение влияния адсорбции молекул газов на электрофизические свойства полупроводниковых оксидов SnO2 сложных соединений, например Cr2–х FeNbO4 , ZnO, wO3 , In2 O3 , Ga2 O3 и др [ ]. принципы действия твердо, а также Tiх O3 тельных датчиков токсичных и взрывоопасных газов основаны на модуляции поверхностного электросопротивления оксидного полупроводника при адсорбции или десорбции молекул газов [2]. <...> Среди изученных веществ наиболее широкое применение нашел нанокристаллический диоксид олова, так как он является широкозонным полупроводником n-типа, вследствие чего электропроводность SnO2 оказывается чрезвычайно чувствительной к состоянию поверхности как раз в той области температур 200—500 o С, для которой на поверхности оксидов наблюдаются окислительно-восстановительные реакции [3]. <...> Так как каждый газ характеризуется определенной энергией связи с поверхностью SnO2 , то различные газы обладают индивидуальными значениями температур максимальной адсорбции. <...> В результате изучения влияния адсорбированных молекул газа на электропроводность поликристаллических пленок оксидных полупроводников <...>