№ 6 ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ЭЛЕМЕНТЫ УДК 621.315.592:548.25 ОСТРОВКОВЫЕ СТРУКТУРЫ, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ МИКРОРАЗМЕРНЫХ РОСТОВЫХ ЯЧЕЕК 2011 г. С.В. Лозовский*, В.Н. Лозовский*, Г.В. Валов**, А.Н. Яценко* *Южно-Российский государственный технический университет (Новочеркасский политехнический институт) **Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону *South-Russian State Technical University (Novocherkassk Polytechnic Institute) **South Scientific Center RAS, Rostov-on-Don Показано, что методом микроразмерных ростовых ячеек могут быть получены на поверхности кремния ансамбли упорядоченных островковых структур. <...> Исследованы их свойства и характер распределения по размерам и по поверхности подложки. <...> Ключевые слова: метод микроразмерных ростовых ячеек; термомиграция; тонкие слои; упорядоченные островковые микро- и наноструктуры. <...> The ensembles of ordered island structures on the surface of silicon have been generated by technique of microdimensional growing cells. <...> Keywords: technique of microdimensional growing cells; termomigration; thin layers; island micro – and nanostructures. <...> Для получения ансамблей квантовых точек наиболее перспективен метод нанесения на монокристаллическую подложку нанослоя и его преобразование в совокупность островковых структур за счёт процесса самоорганизации, обусловленного энергетическими причинами. <...> В настоящей статье исследуется принципиальная возможность получения поверхностных островков методом микроразмерных ростовых ячеек. <...> В качестве метода микроразмерных ростовых ячеек использована зонная сублимационная перекристаллизация (ЗСП) [1]. <...> В простейшем случае при ЗСП ростовая ячейка представляет собой сэндвич из двух соосных плоскопараллельных пластин радиуса R, разделенных тонкой вакуумной зоной l (рис. <...> По техническим причинам минимально возможные значения l увеличиваются с ростом R и, например для стандартно обработанных пластин монокристаллического кремния диаметром 100 мм, составляют несколько десятков микрометров. <...> Процесс ЗСП реализуется при выполнении условий: l << R и l << λ, где λ – средняя длина свободного пробега атомов паров <...>