Прикладная физика, 2016, № 5 МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ УДК 681.7:539.216.2 Влияние вакуумного отжига на электрофизические свойства пленок оксида ванадия, полученных методом реактивного магнетронного осаждения при постоянном токе А. А. Баранов, М. С. Третьякова, С. А. Жукова, В. <...> Турков В работе представлены результаты исследования влияния вакуумного отжига на микроструктуру, фазовый состав и электрофизические свойства пленок VOX, полученных методом реактивного магнетронного осаждения. <...> Исследование кристаллической структуры и фазового состава проводилось методом рентгеноструктурного анализа в геометрии параллельного пучка. <...> Определение электрофизических свойств пленок VOX было проведено с помощью метода длинной линии. <...> Было установлено, что вакуумный отжиг осажденных при комнатной температуре пленок VOX, имеющих рентгено-аморфную структуру, сопровождается снижением содержания кислорода, приводящим к уменьшению сопротивления и ТКС с сохранением аморфной структуры при 200 оС и образованием кристаллических фаз VO2 и V4O7 при 300 оС и 400 оС соответственно. <...> Cd Ключевые слова: неохлаждаемый, микроболометр, оксид ванадия, реактивное магнетронное осаждение, метод длинной линии. <...> Введение Развитие неохлаждаемых микроболометрических устройств определяется возрастающими требованиями к ИК-мониторингу. <...> Особое внимание уделяется свойствам терморезистивного тонкопленочного материала микроболометра, отвечающим за способность достижения высоких характеристик устройства. <...> В качестве терморезистивного материала микроболометров в настоящее время наиболее широко используются полупроводниковые пленки VOx [1]. <...> Тонкие пленки VOx обладают высоким значением температурного коэффициента сопротивления (ТКС), низкой величиной 1/f-шума, а также совместимы с КМОП-технологией и имеют хорошие пассивационные характеристики в сочетании с нитридом кремния. <...> Турков Владимир Евгеньевич, начальник НИЦ нанотехнологий – заместитель генерального <...>