Прикладная физика, 2016, № 5 ОБЩАЯ ФИЗИКА УДК 538.93 Расчет полных коэффициентов распыления слоистых неоднородных структур при бомбардировке мишеней легкими ионами В. В. Манухин На основе модели распыления слоисто-неоднородных поверхностей легкими ионами, получена аналитическая формула, позволяющая рассчитывать полные коэффициенты распыления слоев неоднородности с поверхности твердого тела легкими ионами. <...> Результаты расчетов хорошо согласуются с данными компьютерного моделирования, и показывают, что при распылении с поверхности подложки слоя материала, состоящего из атомов массой существенно меньшей, чем масса атомов подложки, наблюдается существенное увеличение коэффициента распыления («эффект зеркала») атомов слоя. <...> Cd, 34.35.+a Ключевые слова: распыление, ионная бомбардировка, слоисто-неоднородные поверхности, коэффициент распыления, легкие ионы. <...> В частности, возникает задача о распылении слоев неоднородности с поверхности иного материала. <...> Проведенные ранее исследования показали, что наличие на поверхности подложки однородного тонкого слоя материала, состоящего из атомов с массой существенно меньшей, чем масса атомов подложки, приводит к существенному увеличению коэффициента распыления материала этого слоя, по сравнению с коэффициентом распыления однородной мишени из материала слоя («эффект зеркала») [1]. <...> E-mail: ManukhinVV@mpei.ru Статья поступила в редакцию 20 сентября 2016 г. © Манухин В. В., 2016 ского описания распыления слоистых структур легкими ионами. <...> Решение задачи основывается на принципах инвариантного погружения Чандрасекара [2], и развиваются идеи, предложенные для описания ионного распыления свободных тонких пленок [3—5]. <...> Теоретическая модель Рассмотрим простейшую слоисто-неоднородную мишень с резкой границей раздела (см. рис. <...> 1): однородный слой толщиной x0 однородного однокомпонентного материала (2) на однородной полубесконечной подложке другого материала (3). <...> Пусть широкий пучок <...>