Д. К. Кострин «Исследование спектрального метода контроля толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок» 5. <...> Исследование профиля наплыва при вдавливании конического индентора в плоскую поверхность упругопластического тела // Современные проблемы науки и образования. <...> Деформированное состояние поверхности вокруг отпечатка конического индентора: результаты экспериментального исследования // Вестник ЧГАА. <...> 030-034 Д. К. Кострин, канд. техн. наук (СПбГЭТУ «ЛЭТИ») E-mail: dkKostrin@mail.ru ИССЛЕДОВАНИЕ СПЕКТРАЛЬНОГО МЕТОДА КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК Рассмотрены основы метода спектральной интерферометрии, позволяющего проводить контроль толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок. <...> Показана необходимость математической обработки спектральных данных для получения достоверных результатов. <...> Проведено определение толщины нескольких образцов пленок карбида кремния на кремниевой подложке. <...> Kostrin (Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI” (ETU)) RESEARCH OF THE SPECTRAL CONTROL METHOD OF SEMICONDUCTOR AND DIELECTRIC FILMS THICKNESS It is dealt with the basics of the spectral interferometry method which allows to monitor a thickness of semiconductor and dielectric films. <...> The halogen glow lamp with stabilized emissive power is used for measurements of spectral coefficient of reflection of films. <...> Толщина, оптические и электрические свойства пленок существенно зависят от параметров установки магнетронного распыления, в особенности 30 давления рабочего газа в технологической камере, пространственной и временной стабильности работы мишени, а также температуры подложки [1]. <...> Д. К. Кострин «Исследование спектрального метода контроля толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок» При отсутствии контроля параметров пленки в процессе осаждения возникает необходимость послеоперационной проверки ее оптических и электрических характеристик. <...> Для полупроводниковых и диэлектрических пленок значительный интерес представляют их толщина и показатель преломления. <...> При спектрометрических измерениях параметров пленок по спектрам отражения <...>