Естественные и технические науки, № 5, 2013 Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы Одиноков С.Б., доктор технических наук, доцент Кузнецов А.С., научный сотрудник Донченко С.С., аспирант (Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана) ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОГО ГОЛОГРАФИЧЕСКОГО НАНОЛИТОГРАФА Приведена модифицированная схема оптико-электронного ультрафиолетового лазерного литографа с голограммным оптическим компонентом, позволяющая устранить существующие недостатки современных голографических литографов. <...> PRINCIPLES OF UV OPTO-ELECTRONIC HOLOGRAPHIC NANOLITHOGRAPHY Shows the modified scheme of electro-optical lithography, UV laser holographic optical component, which can eliminate the existing shortcomings of modern holographic lithography. <...> Перспективным направлением развития ультрафиолетовой лазерной литографии (УФЛЛ) является разработка ультрафиолетовых лазерных литографов с голограммным оптическим компонентом (УФЛЛ-ГОК), включающих две подсистемы: подсистему перезаписи изображений фотошаблонов на ГОК путем экспонирования на фоточувствительную голографическую регистрирующую среду в ультрафиолетовом лазерном излучении, а также подсистему восстановления изображений фотошаблонов с ГОК и их записи на кремниевые пластины с фоторезистом; при этом ГОК является формирователем микроизображений в плоскости регистрации. <...> Голографическая литография при этом позволяет обеспечивать печать с высокой разрешающей способностью на большом поле экспонирования без использования пошаговой обработки. <...> Поэтому данный метод является единственным, целесообразным в ряде случаев, особенно в технологии производства дисплеев с тонким экраном. <...> К достоинствам метода относится простота работы и низкая стоимость оборудования, а также совместимость метода с обычной фотолитографией [1]. <...> Известные голографические литографы имеют недостатки, которые ограничивают <...>