На основе диагностики подогревателя газа ПТПГ-30, отработавшего 24 года, выявлена тенденция уменьшения тепловой мощности подогревателей, что приводит к существенному увеличению расхода топливного газа, составляющему в среднем не менее 30% (максимально до 57%) за 5 лет эксплуатации. <...> Тепловая производительность подогревателей газа может уменьшаться из-за образования продуктов коррозии и отложений (осадков) на поверхностях деталей подогревателя, через которые осуществляется передача теплоты. <...> Отложения обУДК 681.518.54: 681.586.773 П.Г. Михайлов, С.Ю. Байдаров, Е.А. Мокров (Пензенский государственный университет) E-mail: p1otr110mpg@mail.ru ИЗГОТОВЛЕНИЕ НЕРАЗЪЕМНЫХ УЗЛОВ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ДАТЧИКОВ Рассмотрены технологии изготовления неразъемных узлов микроэлектронных датчиков и методы диагностики проводимых операций. <...> Представлены физико-химические процессы и модели, описывающие процесс сварки кремния со стеклом в электростатическом поле. <...> Неразъемные узлы в микромеханических конструкциях микроэлектронных датчиков физических величин (МДФВ) могут быть сформированы различными известными на практике методами: склейкой, диффузионной сваркой, пайкой металлическими припоями, приплавлением стеклами, соединением ситаллоцементами и пр. <...> . Основными недостатками таких методов являются: высокая температура процесса, наличие высоких неконтролируемых внутренних механических напряжений, сложность автоматизации процесса, значительная трудоемкость. <...> Так, например, метод изготовления чувствительных элементов МДФВ на основе структур «кремний на сапфире» (датчики серий «Сапфир», «Метран», «Мида» и др.) предполагает припайку пластин сапфира к мембране на основе титановых сплавов серебросодержащими припоями ПСР 72 с температурой плавления более 700 °С, что приводит к формированию в структурах больших внутренних механических напряжений. <...> В процессе эксплуатации датчиков происходит непрогнозируемая релаксация напряжений <...>