Конструирование, расчеты, материалы УДК 621.22:538.975 А.Г. ШАГОЙКА, К.В. КРАВЧЕНКО, А.В. ТИХОНЕНКО, Н.М. ЧЕКАН, Е.В. ОВЧИННИКОВ МОДИФИЦИРОВАНИЕ МНОГОСЛОЙНЫХ КОМПОЗИЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ СВЧ–ИЗЛУЧЕНИЕМ Исследованы структура и свойства тонкопленочных покрытий, сформированных на металлических подложках. <...> Показано, что нанесение покрытий на базе нитрида циркония изменяет адсорбционную активность поверхностных слоев металлических подложек. <...> Установлено, что формирование композиционных покрытий приводит к снижению коэффициента трения пары «ZrN+ФСО–ШХ15», в том числе и при воздействии СВЧ–излучения. <...> Преимущество формирования плазмохимических покрытий заключается в высокой производительности процесса, возможности получения покрытий в чистых условиях, и, как следствие этого, высокое качество. <...> Покрытия, формируемые плазмохимическим методом, возможно получать практически из любых материалов, в том числе сплавов, при этом комбинируя технологию формирования многослойных и композиционных покрытый в едином технологическом цикле. <...> Данный способ получения защитных и антифрикционных слоев на поверхности твердых тел характеризует высокая воспроизводимость структуры и свойств формируемых пленок. <...> Плазмохимические технологии формирования покрытий являются экологически чистыми. <...> Для уменьшения количества посторонних примесей в структуре плазмохимических покрытий предложен способ снижения времени формирования слоя заданной толщины. <...> Применение технологического приема, заключающегося в размещении в рабочей камере твердотельной мишени из распыляемого материала и подложки для нанесения пленки, при облучении мишени под углом к нормали мощным импульсным пучком позволяет получать тонкие пленки с большой импульсной скоростью роста (до 1 см/с) и сохранить стехиометрический состав распыляемой мишени. <...> В настоящее время особый интерес представляют композиционные тонкопленочные покрытия различного функционального <...>