М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru УДК 621.397 Белов С.В., ст. инженер, Физико-технический институт им. <...> А.Ф.Иоффе РАН Васильев А.В., зам. ген. директора по производству, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы» Венедиктов О.В., инженер-технолог, ЗАО «Светлана -Электронприбор» Вьюгинов В.Н., канд. физ.-мат. наук., директор, ЗАО «Светлана -Электронприбор» Гудков А.Г., д-р техн. наук, профессор МГТУ им. <...> С., начальник лаборатории, ЗАО «Светлана -Электронприбор» Лебедев А.А., д-р физ.-мат. наук, профессор, зам. руководителя отделения твердотельной электроники, Физико-технический институт им. <...> А.Ф.Иоффе РАН Макаров Ю.Н., канд. физ.-мат. наук, ген. директор, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы» Нагалюк С.С., вед. инженер-технолог, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы» Никитина И.П., ст. инженер, Физико-технический институт им. <...> А.Ф.Иоффе РАН Попов В.В., канд. техн. наук, президент, ОАО «Светлана» Смирнов А.Н., канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. <...> А.Ф. Иоффе РАН Травин Н.К., вед. инженер- технолог, ЗАО «Светлана -Электронприбор» Шифман Р.Г., зам. директора по науке начальник ОКБ, ЗАО «Светлана -Электронприбор» ПРОГНОЗИРОВАНИЕ КАЧЕСТВА И НАДЕЖНОСТИ ИС СВЧ НА ЭТАПАХ РАЗРАБОТКИ И ПРОИЗВОДСТВА Часть 59. <...> Полуизолирующие 6H-SiC подложки для применения в монолитных интегральных схемах Описаны результаты работ в ОАО «Светлана» по созданию базовой промышленной технологии роста монокристаллического полуизолирующего карбида кремния и изготовления подложек из него. <...> Обсуждены параметры полученных подложек и рассмотрены наиболее перспективные применения. <...> Bauman Yu.S.Kuzmichev, Head of Laboratory, CJSC «Svetlana-Semiconductors» A.A.Lebedev, D.Sc (Phys.-Math.), Professor, FTI named after A. <...> Ioffe N.K.Travin, Leading Engineer, CJSC «Svetlana-Semiconductors» R.G.Shifman, Deputy Director – Head of SCD, CJSC «Svetlana-Semiconductors» 30 ISSN 0025-4568. <...> Semi-insulating 6H-SiC wafers for monolithic integrated circuits In this article, the results of the research <...>