Н.Э. Баумана РАСЧ¨Т ПАРАМЕТРОВ ОТКАЧНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ КИНЕТИЧЕСКОГО ВЫСОКОВАКУУМНОГО НАСОСА В статье рассмотрено влияние основных факторов, определяющих параметры откачной характеристики кинетического вакуумного насоса для молекулярного режима течения газа. <...> Расч¸т основывается на основных допущениях для молекулярно-кинетической теории газов: распределение молекул по скоростям теплового движения описывается распределением Максвелла, взаимодействие между молекулами газа отсутствует, взаимодействие между поверхностью тв¸рдого тела и молекулами газа описывается диффузным законом отражения, коэффициент аккомодации равен единице. <...> Использование методов прямого статистического моделирования для расч¸та откачных параметров элементов проточных частей и аналитические зависимости, согласовывающие их совместную работу, позволили значительно сократить время расч¸та, не снижая точности расч¸та и не искажая физики процесса откачки. <...> Представленные математические зависимости позволяют проводить расч¸т существующих кинетических высоковакуумных насосов (турбомолекулярных, молекулярных и комбинированных турбомолекулярных с молекулярными ступенями) с уч¸том всех проточных частей насосов. <...> К кинетическим вакуумным насосам относятся турбомолекулярные (ТМН), молекулярные (МВН) и комбинированные турбомолекулярные с молекулярной ступенью вакуумные насосы [1]. <...> 2 По своему принципу действия эти насосы эффективно работают в области молекулярного режима течения газа. <...> В области вязкостного режима течения газа (при числе Kn<<1) откачной эффект этих насосов пренебрежимо мал [2-5], например, для ТМН-500 максимальное отношение давлений по азоту в молекулярном режиме течения газа более 107 , а в вязкостном около 3. <...> 33 М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru Процесс откачки высоковакуумного насоса кинетического действия, работающего в молекулярном режиме течения, можно описать обобщ <...>