Баумана ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ GAN СВЧ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЕЙ Рассмотрена проблема изготовления GaN МИС СВЧ переключателей. <...> Представлены приемопередающие модули на основе GaN СВЧ МИС для S, К- диапазонов. <...> Viyginov V.N., Candidate of Physical and Mathematical Sciences, headmaster of CJSC «Svetlana-Electronpribor», Gudkov A.G., Grand Ph.D., professor of MSTU n.a. <...> Bauman, Dobrov V.A., head of department, CJSC «Svetlana-Electronpribor», Marjanovsky I.N., student of MSTU n.a. <...> Bauman, Toloknov J.O., senior lecturer, Bauman Moscow State Technical University Hakimov R.R., student of MSTU n.a. <...> Bauman PROSPECTS OF SOLID-STATE MICROWAVE SWITCHES GAN USING The problem of GaN MMIC switches manufacturing are considered. <...> The transceiver modules based on the GaN microwave monolithic integrated versions for S, K ranges. <...> Основные ожидания, связанные с мощной электроникой, относятся к МИС на основе кристаллов GaN, технологии роста которых бурно развивались за последнее десятилетие [1, 2]. <...> Разработаны мощные СВЧ усилители [3] и малошумящие усилители [4] на основе GaN. <...> Требуются высоконадежные СВЧ МИС приемопередающих модулей, работающие с десятками/сотнями ватт СВЧ мощности для космических систем связи, для РЛС с АФАР, для базовых станций. <...> Показано, что наиболее перспективной технологией для объединения на одном кристалле мощного СВЧ усилителя, малошумящего усилителя и СВЧ переключателя является именно GaN технология [5,6], поскольку не требуются схемы защиты входа приемника благодаря высокой устойчивости GaN НЕМТ к перегрузкам. <...> Известно много попыток изготовить GaN МИС СВЧ переключатели[7], но наибольшего успеха добилась в 2010 году фирма TriQuint Semiconductor [8]. <...> Были изготовлены три типа SPDT переключателей по схеме, представленной на Рисунке 1. <...> 9 Данная схема обеспечивает функционирование в трех диапазонах частот: от постоянного тока до 6 ГГц, переключая сигналы мощностью до 40 Вт при вносимых потерях до 0,7 дБ и изоляции 30 дБ на частоте 6 ГГц; от постоянного тока до 12 ГГц, переключая сигналы мощностью <...>