А.В. Чернявский «Измерение диффузионных профилей в ионных кристаллах методом масс-спектрометрии вторичных ионов» УДК 548: 537.611.46 А.В. Чернявский (Национальный исследовательский томский политехнический университет) E-mail: chernyavski@tpu.ru ИЗМЕРЕНИЕ ДИФФУЗИОННЫХ ПРОФИЛЕЙ В ИОННЫХ КРИСТАЛЛАХ МЕТОДОМ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ Приведены результаты исследований высокотемпературной диффузии примесей Mg, F, O из пленки MgF2 в приповерхностных слоях ионных кристаллов KBr. <...> Распределение примесей по глубине после диффузионного отжига кристаллов исследовано методом вторичной ионной масс-спектрометрии. <...> Показано, что в процессе отжига кристаллов KBr кроме диффузии ионов Mg и F происходит диффузия ионов O из окружающей атмосферы. <...> Значительное число твердофазовых реакций, определяющих формирование реальной дефектной структуры и комплекса важнейших физико-химических свойств неорганических материалов, относится к числу диффузионно-контролируемых. <...> Согласно литературным данным, радиационное воздействие является одним из перспективных методов и значительно ускоряет процессы спекания порошков щелочно-галоидных солей [1], ряда оксидов [2], а также интенсифицирует процессы синтеза сложных оксидных соединений [3, 4]. <...> Учитывая принципиальную важность проблемы, были предприняты систематические исследования по изучению действия ионизирующей радиации на диффузионный массоперенос в модельных ионных кристаллах, некоторые результаты которых приведены в [5 – 7]. <...> Для нейтрализации заряда использовали металлическую диафрагму, накладываемую на образец. <...> Пленку примеси наносили на образец в виде островка небольшого размера, а сам образец размещали по центру травящего ионного пучка, где плотность тока по поперечному сечению пучка наиболее однородна. <...> Этим комплексом мер обеспечивали уменьшение влияния 72 эффекта кратера на искажение измеряемых диффузионных профилей. <...> Кроме того, анализ результатов исследований высокотемпературной <...>