Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 610073)
Контекстум
Прикладная физика  / №5 2012

О накоплении продуктов распыления сегнетоэлектрической мишени в плазме тлеющего высокочастотного разряда (10,00 руб.)

0   0
Первый авторЗинченко
АвторыТолмачёв Г.Н.
Страниц4
ID460481
АннотацияОбнаружена зона накопления микрочастиц по рассеиванию излучения лазера на парах меди в плазме высокочастотного емкостного разряда при напылении многокомпонентных наноразмерных сегнетоэлектрических пленок} которая находится на границе раздела отрицательного свечения и темного катодного пространства тлеющего разряда. Предполагается, что таковыми часпшцами являются заряженные продукты распыления сегнетоэлектрической мишени
УДК537.52
Зинченко, СП. О накоплении продуктов распыления сегнетоэлектрической мишени в плазме тлеющего высокочастотного разряда / СП. Зинченко, Г.Н. Толмачёв // Прикладная физика .— 2012 .— №5 .— С. 105-108 .— URL: https://rucont.ru/efd/460481 (дата обращения: 13.04.2025)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Young-Hwan Kim,_Woon-Jo Cho //Journal of the Korean Physical Society. 2005. <...> Accumulation of sputtering products of a ferroelectric target in the high-frequency glow discharge plasma S. P. Zinchenko, G. N. Tolmachev Southern Scientific Center, Russian Academy of Sciences, 41 Chekhov av., Rostov-on-Don, 344006, Russia E-mail: tres-3@mail.ru It is possible to detect the microparticle accumulation area between the cathode dark space and negative glow by scattering of copper vapor laser radiation in the high-frequency glow discharge plasma. <...> It is supposed that these particles are the charged products of the ferroelectric target to be sputtered. <...>