СЕРИЯ ДАТЧИКОВ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ D6FPH ОТ OMRON. <...> КОНСТРУКЦИЯ И ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ СТАНИСЛАВ КОСЕНКО ОЛЕГ МИХЕЕВ МАКСИМ ФЕДОТОВ ИВАН НЕКРАСОВ omron@ptelectronics.ru В марте прошлого года компания Omron Electronic Components BV представила серию цифровых датчиков дифференциального давления D6F-PH, обеспечивающих высокую точность и повторяемость измерений таких параметров низкоскоростных воздушных потоков, как давление и расход. <...> Превосходная чувствительность и способность производить измерения в различных газовых потоках позволяют использовать новые приборы в высококачественном медицинском, химико-технологическом оборудовании и в научных исследованиях. <...> #3 (51), 2014 CONTROL ENGINEERING РОССИЯ ДАТЧИКИ И СЕНСОРЫ I 49 Благодаря цифровой технологии основная опция измерения давления в датчиках серии D6F-PH может дополняться измерением расхода воздушного (газового) потока и его температуры, а по заявке заказчика — даже детектированием аварийной ситуации по достижении температурой заданного порогового значения. <...> Такие результаты конструирования электронных приборов, предназначенных для измерения и управления параметрами физической среды, невозможно было бы получить вне сферы стремительно развивающихся в настоящее время технологий проектирования и производства микро электромеханических систем (МЭМС, или Microelectromechanical Systems, MEMS). <...> Как и любой продукт МЭМСтехнологий, датчик дифференциального давления от Omron представляет собой микросистему, объединяющую два самостоятельных компонента. <...> Первый из них — исполненный на отдельном кристалле измерительный элемент, преобразующий контролируемые параметры физической среды в некоторый электрический сигнал. <...> Второй — специализированная интегральная микросхема (Application Specific Integrated Circuit, ASIC), осуществляющая обработку входного и формирование выходного сигнала, содержащего информацию об измеряемом параметре. <...> При внимательном изучении рисунка в центре кристалла можно видеть выполненный <...>