66 УДК 621.315.5 Влияние условий напыления на микроструктуру пленок индия Н. В. Кардонов, Е. А. Климанов, А. В. Ляликов, Ю. С. Мезин, М. В. Седнев, Б. В. Трошин, Ю. П. Шаронов Представлены результаты исследования влияния чистоты исходной поверхности, давления остаточных газов в вакуумной камере, скорости напыления и других факторов на микрокристаллическую структуру слоев индия. <...> Введение Микроструктура поликристаллических пленок металлов существенно влияет на их свойства, в том числе на твердость, скорость и однородность процессов их травления, что определяет важность управления этим параметром. <...> Индий в настоящее время является основным материалом, используемым для изготовления микроконтактов в изделиях микрофотоэлектроники. <...> Исследование зависимости микроструктуры его слоев от условий их получения, являющееся целью настоящей работы, имеет важное значение для понимания влияния этих условий на последующие процессы формирования микроконтактов из индия. <...> Эксперимент Слои индия напылялись на различные подложки (кремний, кремний, покрытый слоем фоторезиста) методом термического испарения. <...> Процессы напыления проводились на вакуумных установках резистивного испарения. <...> Кремниевые пластины, закрепленные на загрузочной кассете из алюминиевого сплава, располагали на охлаждаемом водой (10—20 оС) медном подложкодержателе. <...> Скорость осаждения слов индия заКардонов Никита Владимирович, инженер. <...> E-mail: orion@orion-ir.ru Статья поступила в редакцию 29 октября 2011 г. © Кардонов Н. В., Климанов Е. А., Ляликов А. В., Мезин Ю. С., Седнев М. В., Трошин Б. В., Шаронов Ю. П., 2012 давали величиной тока, протекающего через испаритель. <...> Напыление индия проводилось резистивным испарением навески массой, соответствующей требуемой толщине слоя, из лодочки специальной конструкции. <...> Для изготовления испарителя использовался молибден или тантал. <...> Толщины слоев индия измеряли на контактном профилометре, шероховатость поверхности — на конфокальном <...>