Прикладная физика, 2014, № 2 17 Физика плазмы и плазменные методы УДК 537.525.99 Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ-источника плазмы диаметром 46 см. Часть III. <...> Эффективность вложения мощности А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, П.А. Неклюдова, В.Б. Павлов В работе представлены результаты измерения эквивалентного сопротивления плазмы, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ-мощность. <...> Рассмотрен индуктивный ВЧ-разряд в инертных газах в диапазоне давлений 1 мТорр–10 Торр. <...> При частотах столкновений более 3 107 вклад в поглощение вносит емкостная составляющая разряда. , значения эквивалентного сопротивления различных газов в пределах ошибки с–1 значительный PACS: 52.80.-s, 52.80. <...> Введение Центральным вопросом физики индуктивного разряда низкого давления является вопрос о механизмах и эффективности поглощения ВЧ-мощности плазмой. <...> Ранее в подавляющем числе работ apriori полагалось, что в условиях экспериментов свойства плазмы определяются мощностью ВЧ-генератора, полностью поглощаемой плазмой. <...> Годяк [1–3] с сотрудниками показали, что при низких давлениях в разрядах потери мощности во внешней цепи ВЧгенератора становятся существенными. <...> В тех же работах была предложена методика оценки доли ВЧ-мощности, поглощенной плазмой на основе трансформаторной модели индуктивного разряда, введена величина, имеющая размерность сопротивления, характеризующая способность плазмы поглощать ВЧ-мощность. <...> В последующих работах [4–8] величину, имеющую размерность сопротивления, было предложено называть эквивалентным сопротивлением плазмы. <...> В работах [4–8] была развита общая аналитическая теория поглощения ВЧ-мощности плазмой с цилиндрической геометрией, получено аналитическое выражение для эквивалентного сопротивления, выполнено численное моделирование и экспериментальное исследование поведения эквивалентного сопротивления плазмы при низких давлениях. <...> : +7 (495) 939-2574; +7 (495) 939-4773 E-mail: afalexandrov@gmail.com <...>