68 УДК 621.315.5 Влияние примесей переходных элементов на темновые токи кремниевых фотодиодов С.С. Демидов, Е.А. Климанов, Т.Г. Колесникова, А.А. Смирнов Применение двухстенных реакторов, операций геттерирования примесей и медленного охлаждения образцов после высокотемпературных операций позволяет существенно снизить темновые токи фотодиодов. <...> В работе рассмотрены основные источники металлических примесей, ухудшающих темновые токи кремниевых фотодиодов. <...> С использованием методов спектрального, нейтронно-активационного анализа (НАА) и электронного парамагнитного резонанса (ЭПР) показано, что основным источником примеси переходных элементов, прежде всего железа, является газовая атмосфера реактора, которая загрязняется из аппаратуры для проведения термодиффузионных процессов. <...> Также установлено, что концентрационные профили межузельного железа, полученные методом ЭПР, и термодоноров в кремнии р-типа близки, что свидетельствует об основной роли Fei 0 в образовании последних. <...> Прикладная физика, 2014, № 1 Введение Кремниевые фотодиоды различных типов широко используются в самой различной оптико-электронной аппаратуре [1]. <...> При этом большое число публикаций посвящено исследованию влияния примесей металлов переходных групп на параметры различных кремниевых приборов, в том числе кремниевых диодов, солнечных элементов и интегральных схем [7–9]. <...> Целью данной работы является выяснение основных источников загрязнений кремниевых образцов примесями металлов во время термодиффузионных процессов и их влияние на генерационные токи кремниевых фотодиодов. <...> Экспериментальные результаты Для выяснения возможных источников загрязнений проводился полуколичественный спектральный анализ содержания различных элементов в образцах кремния, ______________________________________________________________ Демидов Станислав Стефанович, старший научный сотрудник1 Климанов Евгений Алексеевич, главный научный сотрудник1 , доцент2 Колесникова <...>