Прикладная физика, 2014, № 1 УДК 533.924, 621 Измерение электронной температуры в микроплазменных разрядах, развивающихся на поверхности титана при импульсном электрическом токе 100 А В.А. Иванов, М.Е. Коныжев, А.М. Зимин, В.И. Тройнов, Т.И. Камолова, А.А. Летунов В статье представлены результаты исследования спектра излучения микроплазменного разряда, возбуждаемого на поверхности титанового образца при воздействии импульсного потока плазмы в режиме поддержания разряда импульсным электрическим током амплитудой 100 А и длительностью до 20 мс. <...> На основании анализа соотношений интенсивностей линий излучения атомов и ионов титана в интервале длин волн 390–525 нм сделана оценка электронной температуры в микроплазменном разряде, величина которой находится в интервале 0,3–1,5 эВ. <...> Введение В работе [1] было экспериментально установлено, что в вакууме при остаточном давлении воздуха p < 0,001 Па воздействие импульсного (длительностью ~ 1 мкс) потока плазмы с объемной плотностью заряженных частиц ne 1015 см–3 > и температурой электронов около 10 эВ приводит к возникновению электрических разрядов между двумя чистыми металлическими электродами, находящимися при большой разности потенциалов ~100 кВ. <...> В работах [2%6] экспериментально и теоретически показано, что существенную роль в процессе возбуждения разрядов на поверхности металлов при воздействии внешнего потока плазмы играют естественные или специально нанесенные на поверхность металлов диэлектрические пленки. <...> При этом в вакууме воздействие потока плазмы на металлические образцы с нанесенной на их поверхность диэлектрической пленкой толщиной 0,1–1 мкм приводит к возбуждению микроплазменных разрядов (МПР) при существенно меньшей плотности плазмы (ne <1012 см–3 ), чем это было обнаружено в [1], и при значительно меньшем значении напряжения ~100 В на металлических образцах. <...> Cтатья поступила в редакцию 20 ноября 2013 г. © Иванов В.А., Коныжев М.Е., Зимин А.М., Тройнов В.И., Камолова <...>