Прикладная физика, 2014, № 1 УДК 537.525.99 Исследование параметров плазмы ВЧ-индуктивного источника плазмы диаметром 46 см. Часть II. <...> Математическое моделирование параметров плазмы индуктивного и гибридного ВЧ-разрядов А.Ф. <...> Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, П.А. Неклюдова, В.Б. Павлов В работе представлены результаты численных расчетов температуры и концентрации электронов в плазме индуктивного ВЧ-разряда в инертных газах. <...> Результаты расчетов позволили объяснить немонотонную зависимость параметров плазмы от давления инертных газов возрастанием энергозатрат на возбуждение атомов при низких значениях электронной температуры и усилением выноса энергии ионами на стенки источника плазмы при повышении роли емкостной составляющей разряда. <...> Введение В настоящее время в связи с развитием плазменных технологий и конструированием нового поколения источников плазмы встает вопрос о выявлении ключевых параметров, влияющих на плотность плазмы и ее пространственное распределение, на эффективность поглощения ВЧ-мощности плазмой индуктивного ВЧразряда. <...> Очевидно, что поставленная задача может быть решена только на основе детального фундаментального исследования свойств разряда в широком диапазоне его существования и разработки физической модели разряда. <...> В работе [1] (которая представляет Часть I всего цикла работ по исследованию параметров плазмы ВЧиндуктивного источника плазмы диаметром 46 см) экспериментально было получено, что эффективная температура и концентрация электронов немонотонно зависят от давления. <...> Настоящая работа посвящена нахождению физических причин наблюдавшегося эффекта на основании математического моделирования. <...> Методика численных расчетов Простая физическая модель индуктивного ВЧ-разряда низкого давления подробно описана в [2]. <...> Она позволяет определить усредненные по объему концентрацию и температуру электронов, потенциал плазмы относительно стенок источника <...>