Прикладная физика, 2015, № 2 УДК 533.9…15 Изучение поведения температуры электронов аргоновой плазмы импульсно-периодического микроволнового резонансного разряда В. В. Андреев, И. <...> Василеска, М. А. Корнеева В работе представлена конструкция и результаты испытания импульсно-периодического резонансного плазменного источника с рабочей частотой 2,45 ГГц на основе магнитной ловушки пробочного типа с постоянными магнитами. <...> Исследовались изменения параметров разряда и температуры электронов аргоновой плазмы в широком диапазоне изменения давления рабочего газа от 1·10-4 до 4·10-3 Торр и падающей мощности СВЧ до 600 Вт. <...> Температура электронов в разряде определялась методом относительных интенсивностей (ЭОС) и двойным зондом в указанном диапазоне изменений падающей мощности и давления. <...> Полученные методом ЭОС зависимости в пределах экспериментальных погрешностей находятся в хорошем количественном и качественном согласии с результатами, полученными методом двойного зонда. <...> Sw Ключевые слова: ЭЦР-разряд, оптическая эмиссионная спектроскопия, зондовые измерения, двойной зонд. <...> Введение Явления резонансного взаимодействия магнитоактивной плазмы с электромагнитным излучением играют фундаментальную роль в физике плазмы. <...> Результаты таких исследований [1, 2] свидетельствуют об эффективном преобразовании энергии электромагнитного излучения в тепловую энергию частиц плазмы разряда и позволяют достаточно просто осуществлять контролируемое управление плазменными параметрами. <...> Постановка эксперимента Экспериментальная установка представляет собой осесимметричную систему, в которой циАндреев Виктор Викторович, доцент. <...> E-mail: vvandreev@mail.ru; ivonavasileska@yahoo.com; korneevama@mail.ru Статья поступила в редакцию 18 марта 2015 г. © Андреев В. В., Василеска И., Корнеева М. А., 2015 линдрический ТЕ111-резонатор помещен в магнитное поле пробочной ловушки, создаваемой постоянными магнитами с системой магнитного замыкания (рис. <...> Разряд генерируется <...>