Прикладная физика, 2015, № 3 УДК 537.525.99 Исследование параметров плазмы «геликонного» разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы А. Ф. Александров, А. К. Петров, К. В. Вавилин, Е. А. Кралькина, П. А. Неклюдова, А. М. Никонов, В. Б. Павлов, А. А. Айрапетов, В. В. Одиноков, В. А. Сологуб, Г. Я. Павлов В работе представлены результаты экспериментального исследования параметров плазмы «геликонного» разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы, оснащенном соленоидальной антенной. <...> Показано, что с ростом величины внешнего магнитного поля происходит формирование плазменного «столба» и смещение максимальных значений ионного тока по оси разряда в сторону нижнего фланцу макета. <...> Изменение конфигурации магнитного поля позволяет управлять формой плазменного столба. <...> Pi, 52.65.-y Ключевые слова: индуктивный, высокочастотный, разряд, плазма, зондовый ионный ток, магнитное поле, геликон, косая ленгмюровская волна. <...> Наибольших скоростей осаждения покрытий в настоящее время удается достичь с помощью вакуумно-дуговых источников. <...> Павлов Георгий Яковлевич, зам. генерального директора по дуговому нанесению покрытий, т. е. создания потока ионов, величина которого соответствует высоким скоростям осаждения, предложено использование индуктивного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле. <...> Установка, разработанная в [6] и получившая название гибридной плазменной системы, состоит из геликонного источника и напылительной системы. <...> Величина магнитного поля выбирается из условий резонансного возбуждения геликонных волн. <...> В работе [6] показано, что изменение конфигурации внешнего магнитного поля в источнике позволяет управлять распределением плотности плазменного потока на большом расстоянии от плоского индуктора, расположенного на верхнем диэлектрическом фланце источника и делается прогноз о возможности обработки изделий диаметром не менее 450 мм с высокой степенью равномерности по площади изделия. <...> В работе [6] для возбуждения <...>