Прикладная физика, 2015, № 4 УДК 533.9.07 Масс-зарядовый состав ионов плазмы дугового разряда форвакуумного широкоапертурного источника электронов А. В. Тюньков, В. А. Бурдовицин, А. В. Казаков, А. В. Медовник, Е. М. Окс Проведены исследования масс-зарядового состава ионов плазмы импульсного дугового разряда, реализуемого в разрядной системе широкоапертурного форвакуумного плазменного источника электронов. <...> Показано, что давление рабочего газа и ток разряда оказывают существенное влияние на соотношение ионов металла (материала катода) и газа в плазме. <...> Характерной особенностью форвакуумного диапазона давлений является появление в дуговой плазме заметной доли ионов газа без использования магнитного поля, причем при определенных условиях плазма дугового разряда содержит только газовые ионы. <...> PACS: 29.25.-t, 52.70.-m Ключевые слова: импульсный дуговой разряд, масс-зарядовый состав, форвакуумный диапазон давлений, плазменный катод, широкоапертурный источник электронов. <...> Введение Электронные пучки большого сечения находят применение в электронно-лучевых и плазменных технологиях обработки материалов, при возбуждении активных сред газовых лазеров, инициировании реакций окисления и азотирования, а также в плазмохимии органических и неорганических соединений [1]. <...> Генерация импульсных электронных пучков большого сечения плазменными источниками в форвакуумном диапазоне давлений (1—100 Па) [2, 3] обеспечивает возможность обработки поверхности керамических [4] и полимерных материалов [5]. <...> Формирование эмиссионной плазмы в таких источниках дуговым разрядом с катодным пятном [6] позволяет (по сравнению с источником электронов на основе тлеющего разряда [7]) существенно повысить параметры электронного пучка. <...> В дуговом разряде с катодным пятном, функционирующим в области низких давлений (от 10-4 до 10-1 Па) изменение давления газа оказывает влияние на масс-зарядовый состав ионов плазмы. <...> E-mail: andrew71@sibmail.com Статья поступила <...>