44 УДК 537.525.99 Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле, посредством программы КАРАТ А. Ф. <...> Александров, К. В. Вавилин, Е. А. Кралькина, В. Б. Павлов, А. К. Петров, В. П. Тараканов В работе представлены результаты математического моделирования PIC-методом пространственного распределения параметров плазмы и ВЧ-полей в индуктивном ВЧ-разряде, помещенном во внешнее магнитное поле. <...> Показано, что с ростом величины внешнего магнитного поля происходит смещение максимальных значений плотности плазмы по радиусу к стенкам источника плазмы, а по оси разряда — от антенны в центральные части разряда. <...> Закономерности изменения плотности плазмы коррелируют с изменениями пространственного распределения ВЧ-поля. <...> Введение В настоящее время в литературе [1—7] большое внимание уделяется исследованию индуктивного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле. <...> Большой интерес к исследованию разряда вызван, во-первых, возможностью получения плотной плазмы при относительно невысоких энергозатратах, что востребовано в большом количестве практических приложений, а, вовторых, многообразием физических процессов, протекающих в разряде. <...> В работе [8] для целей ионного стимулирования вакуумно-дугового нанесения покрытий, т. е. для создания потока ионов, величина которого соответствует высоким скоростям осаждения, предложено использование индуктивного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле. <...> Величина магнитного поля выбирается из условий резонансного возбуждения геликоновых волн [8]. <...> Статья поступила в редакцию 28 сентября 2015 г. © Александров А. Ф., Вавилин К. В., Кралькина Е. А., Павлов В. Б., Петров А. К., Тараканов В. П., 2015 Прикладная физика, 2015, № 5 В работе [9] выполнено экспериментальные исследования параметров плазмы «геликонного разряда» в макете ВЧ гибридной плазменной системы, предназначенной для напыления покрытий с помощью магнетрона в присутствии стимулирующего <...>