ФИЗИКА УДК 539.216.2:539.37 О МЕЖФАЗНОЙ ЭНЕРГИИ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ПРИ УПРУГОЙ ДЕФОРМАЦИИ © 2014 г. Л.П. Арефьева Арефьева Людмила Павловна – кандидат физикоматематических наук, доцент, кафедра технологии наноматериалов, Институт электроники, электроэнергетики и нанотехнологий Северо-Кавказского федерального университета, пр. <...> Изменение межфазной энергии тонких пленок в процессе упругой деформации рассмотрено в рамках модифицированного электронно-статистического метода. <...> Показано, что при упругой деформации межфазная энергия тонких пленок изменяется нелинейно. <...> На графиках приведены ход электронной плотности тонких пленок переходных металлов и размерная зависимость межфазной энергии при различной деформации. <...> Ключевые слова: тонкие пленки, межфазная энергия, упругая деформация, электронно-статистический метод, размерная зависимость, переходные металлы. <...> Проблема стабильности тонких пленок на подложке становится все более актуальной по мере развития нано- и микросистемной техники. <...> Под действием приложенных напряжений пленка деформируется, чтобы соответствовать размеру подложки [1–4]. <...> Способ роста эпитаксиальных тонких пленок на подложке и их физико-химические характеристики определяются, прежде всего, величинами поверхностной энергии пленки и подложки и межфазной энергией системы «пленка–подложка» [1–4]. <...> В данной работе в рамках модифицированного электронно-статистического метода делается попытка на примере палладия описать зависимость межфазной энергии тонких пленок переходных металлов от деформации кристаллической решетки. <...> Модифицированная электронно-статистическая теория ранее применялась для оценки величины меж37 фазной энергии граней металлических кристаллов, тонких пленок и малых частиц на различных границах контакта [5–10]. <...> Методика оценки межфазной энергии тонких металлических пленок Модель металла, тонкой деформированной пленки и физическая поверхность <...>