УДК 621.385.833 ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРОЦЕССА ТЕПЛОПЕРЕНОСА НА ГЕОМЕТРИЧЕСКУЮ ФОРМУ ОСТРИЙ СТМ-ЗОНДОВ В ПРОЦЕССЕ ИХ ТРАВЛЕНИЯ ШЕЛКОВНИКОВ Е.Ю., ТЮРИКОВ А.В., ЖУЙКОВ Б.Л., ЛИПАНОВ С.И. <...> Рассмотрены вопросы влияния эффекта теплопереноса на процесс травления вольфрамовой заготовки при изготовлении СТМ-зондов. <...> Приведены результаты численных исследований для различных температур втекающей травящей жидкости. <...> Показано, что геометрические параметры острия поддаются существенной корректировке путем изменения интенсивности подачи травящего раствора и его температуры. <...> ВВЕДЕНИЕ Исследования в области сканирующей туннельной микроскопии [1], интенсивно проводящиеся в течение последних десятилетий, показали, что основное преимущество сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) – атомное разрешение – невозможно реализовать без атомарно острой зондирующей иглы (ЗИ), изготовленной по специально разработанным методикам. <...> Традиционными материалами для изготовления ЗИ являются вольфрам и платина, поскольку эти материалы обладают необходимым для СТМ-зонда свойством химической инертности в воздушной среде [2]. <...> Работы, посвященные созданию вольфрамовых зондов СТМ, интенсивно проводятся в ИМ УрО РАН [2 − 9]. <...> Изготовление таких ЗИ осуществляется методом травления, причем (как было показано ранее [6]) для получения наиболее острых зондов целесообразно применять комбинацию интенсивного электрохимического травления в щелочной среде с более медленным химическим дотравливанием в растворе красной кровяной соли (гексоцианоферрат калия III). <...> При таком комбинировании травлений удается достичь приемлемого времени изготовления ЗИ и одновременно получить атомарно острую иглу [10]. <...> Следует отметить, что на качество СТМ-эксперимента существенное влияние оказывает и макроскопическая форма зонда (например, одним из важнейших макроскопических параметров является угол заточки, увеличение которого позволяет существенно <...>