УДК 544.558, 533.924 В.С. Бормашов, А.В. Голованов, А.П. Волков, С.А. Тарелкин, С.Г. Буга, В.Д. Бланк ФОРМИРОВАНИЕ РЕЛЬЕФНЫХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛОВ СИНТЕТИЧЕСКОГО АЛМАЗА МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, Московский физико-технический институт) e-mail: anton.golovanov2012@gmail.com Методом лазерной литографии и реактивного ионного травления на поверхности монокристаллов синтетического алмаза получены рельефные структуры высотой до 2 мкм. <...> Определены скорости и селективности травления к алюминию и хрому в плазмах различного газового состава. <...> Наибольшая скорость реактивного ионного травления (70 нм/мин) достигнута при использовании плазмы на основе гексафторида серы, при этом наибольшая селективность травления (14) наблюдалась к хрому. <...> Ключевые слова: реактивное ионное травление, синтетический алмаз, лазерная литография ВВЕДЕНИЕ МАТЕРИАЛЫ И ОБОРУДОВАНИЕ Синтетические монокристаллы алмаза c высокой степенью совершенства кристаллической структуры находят применение в различных высокотехнологичных областях, в частности, в рентгеновской оптике [1] и электронике [2, 3]. <...> Реактивное ионное травление может применяться для постмеханической полировки и сглаживания алмазной поверхности [5], так как снимает приповерхностный слой, поврежденный полировкой. <...> В настоящее время для создания рельефных структур на поверхности алмазных монокристаллов и пленок применяется реактивное ионное травление с источником емкостносвязанной плазмы [6], индуктивно-связанной плазмы [7], плазмы электрон-циклотронного резонанса [8]. <...> Применение простых механических масок приводит к геометрическим искажениям требуемых структур на поверхности алмаза, создаваемых плазмохимическим травлением. <...> Поэтому оптимально использование контактных металлических масок, изготовляемых напылением металлических пленок с последующим процессом фотолитографии и химического <...>