риалов на основе углеродного волокна, в первую очередь, пытаются развить его поверхность при помощи различных окислительных обработок. <...> Но существуют и альтернативные методы развития поверхности волокна, например, выращивание на ней углеродных нанотрубок. <...> Несмотря на положительный эффект увеличения площади межфазного контакта за счет нанотрубок, этот способ приводит к повышенной дефектности волокна и сильному снижению его механических свойств. <...> Таким образом, обработку фуллеренами следует использовать в комплексе с другими модификациями углеродного волокна для создания композиционных материалов нового поколения. <...> УДК 621.382 Б.П. Сорокин, Г.М. Квашнин, В.С. Бормашов, А.П. Волков, А.В. Теличко, Г.И. Гордеев, А.В. Голованов ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЧ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ПЛЕНКИ AlN, НАНЕСЕННОЙ НА ПОДЛОЖКУ ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОГО МОНОКРИСТАЛЛА АЛМАЗА (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов) e-mail: bpsorokin2@rambler.ru Разработана технология магнетронного напыления пьезоэлектрических пленок из нитрида алюминия и металлических электродов на подложки из синтетического монокристалла алмаза. <...> Для создания электродных структур с заданной топологией применялись методы фотолитографии. <...> Структура пленок изучалась методами рентгеновской дифракции, атомно-силовой и растровой электронной микроскопии. <...> Ключевые слова: пьезоэлектрическая пленка AlN, синтетический монокристалл алмаза, магнетронное напыление ВВЕДЕНИЕ В последнее десятилетие имеется тенденция к миниатюризации приборов и устройств на сверхвысоких частотах (СВЧ). <...> Так, разработка высокодобротных акустических резонаторов, в которых используют высшие обертоны (High overtone Bulk Acoustic Resonator (HBAR)), производится на основе слоистых структур типа Me1/пьезоэлектрическая пленка/Me2/звукопровод, где Me1/пьезоэлектрическая пленка/Me2 – электромеханический преобразователь, необходимый ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2014 <...>