Т 57 (5) ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2014 УДК 544.558, 533.924 В.С. Бормашов, А.В. Голованов, А.П. Волков, С.А. Тарелкин, С.Г. Буга, В.Д. Бланк ГЛУБОКОЕ РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ СИНТЕТИЧЕСКОГО АЛМАЗА (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, Московский физико-технический институт) e-mail: anton.golovanov2012@gmail.com Разработано и исследовано глубокое реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристаллического алмаза в двухступенчатом процессе травления в плазме на основе SF6 и покрытия защитной пленкой в плазме на основе СF4. <...> Для контроля рельефа поверхности алмазных образцов до и после обработки плазмой использована методика, основанная на анализе частотной зависимости спектральной плотности мощности экспериментальных изображений, полученных с помощью атомносиловой микроскопии на различных пространственных масштабах. <...> Ключевые слова: реактивное ионное травление, синтетический алмаз, атомно-силовая микроскопия, спектральная плотность мощности шероховатости ВВЕДЕНИЕ Многочисленные применения синтетического алмаза в устройствах экстремальной и силовой электроники [1], рентгеновской оптике высоких энергий [2], акустике [3] требуют надежных методов планаризации алмазной поверхности, вплоть до атомарно-гладкой, а также формирования на ней рельефных структур с большим аспектным соотношением. <...> Для этого перспективно использование двухступенчатого процесса «пассивация – реактивное ионное травление» (аналога BOSCH-процесса сверхглубокого травления кремния) и литографии. <...> Универсального способа контроля рельефа поверхности на наномасштабах не существует. <...> Опыт производства интегральных схем показывает, что при наличии структур на поверхности требуется отдельный анализ в масштабе одной точки, отдельной структуры и всей поверхности [4]. <...> Большое внимание уделяется спектральному подходу к изучению рельефа на различных масштабах <...>