Прикладная физика, 2016, № 3 ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ УДК 621.793.182; 548.5 Образование кристаллических структур на поверхности «горячей» мишени ZnO при магнетронном распылении А. М. Исмаилов, С. Л. Гамматаев, М. Р. Рабаданов, И. Ш. Алиев, Л. Л. Эмирасланова В данной работе впервые представлены результаты магнетронного распыления неохлаждаемой керамической мишени ZnO в атмосфере кислорода. <...> При высоких плотностях разрядного тока (j > 60 мА/см2) мишень разогревается до температуры более 1000 оС. <...> Приведены характерные изображения рельефа поверхности мишени, полученные с помощью растровой электронной микроскопии. <...> В зоне эрозии мишени формируется характерная морфология, а в областях, примыкающих к ней (край и центр мишени) наблюдается формирование рельефа в виде специфических кристаллических структур, форма и размеры которых зависят от давления рабочего газа в системе и температуры мишени. <...> Предполагается, что к процессам каскадного распыления, характерным для распыления охлаждаемых мишеней, при распылении «горячих» мишеней добавляются радиационно-ускоренные процессы диффузии и испарения. <...> Cd Ключевые слова: магнетронное распыление, оксид цинка, неохлаждаемая («горячая») мишень, зона эрозии мишени, морфология поверхности, растровая электронная микроскопия. <...> Введение Метод магнетронного распыления — наиболее распространенный метод получения тонких пленок различных веществ из газовой фазы. <...> Процесс осаждения включает ряд стадий: образование ионов рабочего газа; бомбардировка мишени (процессы на поверхности мишени и в приповерхностном слое, сопровождающиеся различными видами эмиссии); массоперенос распыленных частиц через плазму; конденсация распыленных частиц на подложке, сопровождающаяся бомбардировкой ионами, нейтральными атомами, электронами и облучением светом (излучением) разряда. <...> E-mail: egdada@mail.ru Статья поступила в редакцию 13 мая 2016 г. © Исмаилов А. М., Гамматаев С. Л., Рабаданов М. Р., Алиев И <...>