Сарач* Описана технология получения газовых сенсоров на основе тонких пленок SnO2–X с аддитивом Gd. <...> Показано, что полученные сенсоры характеризуются высокой газовой чувствительностью, малым временем срабатывания и могут быть использованы в составе матрицы газовых сенсоров для устройства «электронный нос». <...> Ключевые слова: оксид олова, газовые сенсоры, добавки редкоземельных металлов, электрофизические свойства, газовая чувствительность. <...> Как и другие полупроводниковые датчики газов сенсоры на основе диоксида олова реагируют на присутствие в воздухе практически любых газов и паров, обладающих восстановительными или окислительными свойствами [3], так что для надежного распознавания реагентов необходима матрица сенсоров, включающая в себя сенсоры, различающиеся как по рабочим температурам, так и по составу [4]. <...> Технология изготовления сенсоров Газовые сенсоры на основе тонких (100 нм) пленок SnO2–X получали реактивным магнетронным напылением Sn на подложки шероховатого кварца толщиной * SarachOB@mail.ru 300 нм в атмосфере 10% O2 и 90% Ar, толщина пленок находилась в пределах 70 — 120 нм. <...> Соотношение кислорода и олова в получающихся пленках регулировали подбором давления газовой смеси при напылении (варьировалось от 4∙10–4 до 8∙10–4 Торр). <...> Конструкция сенсора включает в себя помимо газочувствительной пленки диоксида олова нагревательный элемент, обеспечивающий нагрев активной области до рабочих температур, и контакты к газочувствительному слою. <...> Размер газочувствительного элемента — 22 мм2, нагреватель расположен на обратной стороне подложки. <...> Нагреватель и контакты формируются магнетронным распылением платины через маску. <...> Размер сенсора с контактами и нагревателем — 55 мм2. <...> Наиболее подробно технологии и конструкции сенсоров описаны в [5]. <...> Упоминания о использовании редкоземельных металлов в газовой сенсорике встречаются относительно редко, между тем лантаноиды имеют высокую реакционную способность <...>