УДК 621.38.049.77 Распределение температуры по длине термомеханического актюатора С.П. Тимошенков, В.К. Самойликов, С.С. Евстафьев, А.М. Терещенко, И.М. Бритков Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Temperature Distribution along Length of Thermomechanical Actuator S.P.Timoshenkov, V.K.Samoylikov, S.S.Evstafev, A.M.Tereshchenko, I.M.Britkov National Research University of Electronic Technology, Moscow Представлены результаты разработки и исследования характеристик микрозеркального элемента, приводимого в движение тепловыми микроактюаторами. <...> Показано, что для расчета стрелы прогиба микрозеркального элемента необходимо учитывать распределение температуры перегрева по длине элемента. <...> Выполнен расчет температуры перегрева, определена эффективная температура перегрева и проведено сравнение полученных значений с экспериментальными данными. <...> The results of investigation and development of the characteristics of the micromirror element, driven by a thermal microactuator, have been presented. <...> It has been shown that for calculating the micromirror element deflection it is crucial to take into consideration the temperature distribution along the element length. <...> Технология микроэлектроники, в частности технология объемной и поверхностной микрообработки поверхностей, постоянно совершенствуется, что дает возможность создавать новые классы систем, объединяющих в себе электрические схемы, механические и оптические компоненты. <...> Такие системы получили название микрооптоэлектромеханических систем (МОЭМС). <...> Они имеют преимущества как микроэлектронных изделий, а именно возможность группового изготовления, малые размеры, высокую надежность, так и оптических устройств. <...> Сфера применений МОЭМС обширна и включает в себя оптические переключатели [1], микропроекционные системы (так называемые пикопроекторы) для портативных электронных устройств [2], оптические сканеры [3], эндоскопы [4], системы управления полупроводниковыми лазерами [5], С.П. Тимошенков, В.К. Самойликов, С.С. Евстафьев, А.М. Терещенко, И.М. Бритков, 2015 Известия вузов. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 20 № 4 2015 397 С.П. Тимошенков, В.К. Самойликов, С.С. Евстафьев и др. системы адаптивной оптики <...>