МИКРО- И НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА MICRO- AND NANOSYSTEM TECHNOLOGY УДК 681.586 Балансировка кремниевых датчиков угловой скорости в процессе изготовления С.П. Тимошенков, Б.М. Симонов, О.М. Бритков, С.А. Анчутин, А.С. Тимошенков Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Balancing of Silicon Speed Sensors during Manufacturing Process S.P. <...> Timoshenkov National Research University of Electronic Technology Исследованы возможности корректировки параметров микроэлектромеханических кольцевых датчиков угловой скорости с помощью балансировки, осуществляемой изменением массы отдельных сегментов кольца, и оптимизации внутрикорпусного давления в процессе изготовления таких приборов. <...> Предложен алгоритм реализации балансировки посредством изменения массы сегментов кольца, позволяющий уменьшить разность резонансных частот колебаний кольца в различных направлениях. <...> Keywords: Sensor Angular rate, ring gyroscope, balancing, damping, sensitive element (SE) Тимошенков С.П., Симонов Б.М., Бритков О.М., Анчутин С.А., Тимошенков А.С., 2015 58 Известия вузов. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 20 № 1 2015 Балансировка кремниевых датчиков угловой скорости. <...> Датчики угловой скорости (ДУС) относятся к наиболее востребованным микроэлектромеханическим системам (МЭМС) [1,2] и широко применяются, например, в автомобильной промышленности, робототехнике, системах управления и системах стабилизации различных объектов (беспилотных летательных аппаратах, устройствах стабилизации, линии визирования и т.п.) <...> Все это достигается благодаря использованию технологий микросистемной техники, адаптированных к их изготовлению. <...> ДУС (микрогироскоп) состоит из двух функциональных частей с различными принципами функционирования: электромеханическая (чувствительный элемент) и электронная (схема формирования и измерения полезного сигнала). <...> В настоящей работе исследуется возможность контроля и корректировки параметров ДУС в процессе их изготовления и показана необходимость введения балансировки перед герметизацией чувствительного элемента ДУС. <...> Как правило, современные <...>