№ 2 Влияние легирования на структуру и особенности трибологического поведения вакуумных алмазоподобных покрытий И. <...> Представлены результаты исследования атомно-кристаллической структуры, фазового и химического составов алмазоподобных покрытий, полученных методами плазмохимического осаждения (a-C:H:Si и a-C:H:Si:Mо) и магнетронного реактивного распыления (a-C:H:Cr). <...> Для покрытий a-C:H:Si:Mо обнаружено образование ультрадисперсных включений, имеющих состав карбидных или силицидных фаз молибдена. <...> В покрытиях a-C:H:Cr при напылении в смеси ацетилен–азот установлено формирование нанокомпозитной структуры на основе хрома, а также наличие карбидных и нитридных фаз. <...> Трибологические испытания показали, что покрытия, содержащие кремний и кремний–молибден, имеют высокий коэффициент трения и низкую фрикционно-усталостную долговечность, тогда как покрытия, содержащие хром, имеют высокие механические и трибологические характеристики, что делает их перспективными для работы при больших контактных давлениях. <...> Ключевые слова: алмазоподобные покрытия, аморфный углерод, вакуумное осаждение, PAPVD, PACVD, реактивное магнетронное распыление, легирование, рентгеновская дифракция, нанокомпозитная структура, фазовый состав, трибологические свойства. <...> Введение Многослойные твердые покрытия, покрытия с композитной структурой, алмазоподобные углеродные покрытия и керамика на основе нитрида кремния являются перспективными материалами, способными обеспечить надежность и долговечность работы различных изделий при больших контактных давлениях при отсутствии смазки, в агрессивных средах и т. д. <...> . Алмазоподобные углеродные покрытия, получаемые методами вакуумного ионно-плазменного осаждения и с помощью химических газотранспортных реакций, характеризуются высокой износостойкостью и низким коэффициентом трения [3, 4], но из-за особенностей технологий их нанесения в большинстве случаев имеют небольшую толщину, что не <...>