А.Б. Соломашенко, А.С. Кузнецов
ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ
МИКРООПТИЧЕСКИХ И ДИФРАКЦИОННЫХ
ЭЛЕМЕНТОВ С ПОМОЩЬЮ ТЕХНОЛОГИИ
КОРРЕЛЯЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ
SHUTTLE AND FIND
Исследовано совместное использование оптической и электронной
микроскопии для комплексного изучения параметров микрооптических и дифракционных элементов. <...> В качестве исследуемого образца использован микролинзовый растр. <...> Разработана методика
для контроля параметров образцов микрооптических и дифракционных элементов. <...> E-mail: anton.s.goncharov@gmail.com
Ключевые слова: сканирующая электронная микроскопия, оптическая
микроскопия, корреляционная микроскопия, микролинзовый растр. <...> В современной оптике разработка дифракционных оптических
элементов (ДОЭ) с бинарным и многоуровневым поверхностным рельефом, получаемых методами лазерной и электронно-лучевой литографии, а также приборов и устройств на их основе имеют большое
практическое значение [1, 2]. <...> При разработке новых усовершенствованных методов контроля
ДОЭ к ним предъявляется ряд требований: наряду с бесконтактностью и дистанционностью измерений, они должны иметь широкий
диапазон измерений (от нескольких мкм до нескольких сантиметров),
высокое разрешение (от 100 нм, что достижимо только на электронном микроскопе, до 1 мкм) и высокое быстродействие. <...> Исследование рельефа поверхности и геометрических параметров
ДОЭ оптическими бесконтактными методами в автоматическом режиме является важной задачей как лабораторных исследований, так и
контроля промышленной продукции. <...> Широкое использование нанотехнологий и наноматериалов, постоянно растущие требования по
контролю качества изделий машиностроения, электроники и точной
механики обусловливают перспективность корреляционной микроскопии как одного из направлений современного приборостроения. <...> Корреляционная микроскопия — это новая технология, позволяющая объединить в одном цикле исследование образцов под оптическим и электронным микроскопами <...>